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除静电离子风机在半导体行业的作用

时间:2020-12-26 17:57:40  来源:  作者:
除静电离子风机在半导体行业的作用

大家好,我是小编。今天给大家介绍除静电离子风机在半导体行业的作用,以下内容由小编整理,相关内容供以参考。



在电子行业、半导体行业等,静电对产品存在很大的威胁,这时候除静电离子风机起到了很大的作用。那么先说说静电放电(ESD)造成的危害吧!

1.高压静电放电造成电击,危及人身安全。

2.引起电子设备的故障或误动作,造成电磁干扰。

3.在多易燃易爆品或粉尘、油雾的生产场所极易引起爆炸和火灾。

4.击穿集成电路和精密的电子元件,或者促使元件老化,降低生产成品率。

除静电离子风机的作用是利用空气电离产生大量正负电荷,并用风机将正负电荷吹出。形成一股正负电荷的气流,将物体表面所带的电荷中和掉。当物体表面所带为负电荷时,它会吸引气流中的正电荷,当物体表面所带为正电荷时,它会吸引电流中的负电荷,从而使物体表面上的静电被中和,达到消除静电的目的。

在半导体器件生产车间,由于尘埃吸附在芯片上,IC尤其是超大规模集成电路(VLSI)的成品率会大大下降。IC生产车间操作人员都穿洁净工作服,若人体带静电,则极易吸附尘埃、污物等,若这些尘埃、污物被带到操作现场的话,将影响产品质量,恶化产品性能、大大降低Ic成品率。如果吸附的灰尘粒子的半径大于100μm线条宽度约100μm时,薄膜厚度在50μm下时,则最易使产品报废。所以要使用离子风机将静电消除,提高产品的质量和效率。
 
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